На предприятиях микроэлектроники и электронной промышленности используется в основном дистиллированная (иначе – глубоко деионизированная) вода. Она должна соответствовать ОСТ 11.029.003-80 или ASTM D-5127-90 (американский стандарт).
В технологических процессах может быть задействована вода различной степени деионизации: как дистиллированная, так и сверхчистая. Электропроводность первой составляет до 5 мкСм/см, электрическое сопротивления – от 200 кОм*см, электрическое сопротивление сверхчистой воды соответствует 12-18 МОм*см.
Технологии подготовки воды
Несколько лет назад для получения требуемой воды применялись методы, основанные на выпаривании, в том числе вакуумном. Такая технология требовала значительных материальных расходов. Сегодняшние методы очистки позволяют сделать процесс водоподготовки намного дешевле благодаря применению мембранной дистилляции.
Когда требуется сверхчистая вода, помимо мембранного дистиллятора используется одна или несколько колонн с ионообменной смолой. За счёт поддерживаемого высокого качества воды после второй ступени мембранного дистиллятора ресурс ионообменных смол в ОН-/ Н+ форме повышается.
Важно помнить, что ионообменные смолы, применяющиеся на этапе доочистки, отличаются высокой стоимостью. Внедрение мембранного дистиллятора значительно снижает затраты, связанные с заменой и регенерацией смол.
Колоны с ионообменными смолами рекомендуется устанавливать рядом с потребителями сверхчистой воды из-за короткого периода её «жизни». Нескольких секунд контакта с воздухом достаточно, чтобы сверхчистая вода вобрала углекислый газ. В воде он преобразуется в гидрокарбонаты, которые позже снижают удельное сопротивление воды.
Сочетание технологии мембранной дистилляции и электродеионизации позволяет получать сверхчистую воду высокого качества. Тем не менее, при подобной водоподготовке для микроэлектроники лучше внедрить ограничения для уменьшения капитальных затрат.
Компания «Уралфильтр» разработает комбинированное оборудование для вашего предприятия:
- Напорные фильтры на основе ионообменных смол.
- Установки непрерывной электродеионизации.
- Автоматические системы обратного осмоса.
Квалифицированные специалисты «Уралфильтр» успешно внедряют системы водоочистки и водоподготовки для микроэлектроники.
Позвоните или напишите на электронный адрес компании, и менеджер с радостью ответит на интересующий вас вопрос.
Справочная информация
Установленные требования к качеству воды для электронной промышленности согласно ОСТ 11.029.003-80 и ASTM D-5127-90.
| Параметры воды | Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 | Марка воды по нормам ASTM D-5127-90 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| А | Б | В | Е-1 | Е-2 | Е-3 | Е-4 | |
| Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм*см | 18 | 10 | 1 | 18 | 17,5 | 12 | 0,5 |
| Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более | 1 | 1,5 |
|
||||
| Общий органический углерод, мкг/л, не более |
|
|
|
25 | 50 | 300 | 1000 |
| Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более | 0,01 | 0,05 | 0,2 | 0,005 | 0,01 | 0,05 | 1 |
| Содержание железа, мг/л, не более | 0,015 | 0,02 | 0,03 |
|
|
|
|
| Содержание меди, мг/л, не более | 0,005 | 0,001 | 0,002 | 0,5 | |||
| Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более | 20 | 50 | не регламент. |
|
|
|
|
| Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более | 2 | 8 | не регламент. |
|
|
|
|
| Хлориды, мкг/л, не более |
|
|
|
1 | 10 | 1000 | |
| Никель, мкг/л, не более |
|
|
|
0,1 | 1 | 2 | 500 |
| Нитраты, мг/л, не более |
|
|
|
1 | 5 | 500 | |
| Фосфаты, мг/л, не более |
|
|
|
1 | 5 | 500 | |
| Сульфат, мг/л, не более |
|
|
|
1 | 5 | 500 | |
| Калий, мкг/л, не более |
|
|
|
2 | 5 | 500 | |
| Натрий, мкг/л, не более |
|
|
|
0,5 | 1 | 5 | 500 |
| Цинк, мкг/л, не более |
|
|
|
0,5 | 1 | 5 | 500 |
Наши специалисты с радостью ответят на любые имеющиеся у вас вопросы в области водоочистки и водоподготовки воды в электронной промышленности, а также предложат лучшие технологические решения. Просто позвоните нам или отправьте запрос по электронной почте.
